壓電陶瓷掃描臺(tái)，物鏡型，兼容無磁高真空

壓電·大范圍掃描運(yùn)動(dòng) Carrier.OBxxx.C

? 針對(duì)顯微物鏡的大負(fù)載、高動(dòng)態(tài)、緊湊型解決方案，用于顯微成像、自動(dòng)對(duì)焦等應(yīng)用

• Z 方向運(yùn)動(dòng)范圍 50-400 um；

• 最快穩(wěn)定時(shí)間(90%位置穩(wěn)定)10 ms以內(nèi)；

• 閉環(huán)定位精度優(yōu)于 1 nm；

• 控制器兼容多場(chǎng)科技MC-Archimedes Series；

• ?持無磁 (.NM) , 高真空 (.HV) 和超高真空(.UHV)選件升級(jí)；

壓電陶瓷掃描臺(tái)，物鏡型，兼容無磁高真空——詳細(xì)參數(shù)：

壓電陶瓷掃描臺(tái)，物鏡型，兼容無磁高真空——尺寸圖：

Carrier.OB050.C

Carrier.OB100.C

Carrier.OB200.C

Carrier.OB400.C

多場(chǎng)科技“壓電掃描臺(tái)·物鏡型”解決方案Carrier.OB.系列主要針對(duì)精密光學(xué)，半導(dǎo)體表征等應(yīng)用場(chǎng)景，核心特點(diǎn)包括：

• Z方向單一運(yùn)動(dòng)方向，行程覆蓋50-400 um

• 快速運(yùn)動(dòng)穩(wěn)定，10 ms內(nèi)完成

• 支持高負(fù)載物鏡選項(xiàng)；提供多種物鏡轉(zhuǎn)接接口

• 支持第三方軟、硬件控制，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)對(duì)焦

• 支持電容(.C) 位置傳感

• 最高分辨率達(dá)到0.2 nm

• 支持無磁 (.NM), 高真空 (.HV) 和超高真空 (.UHV) 選件升級(jí)

• 控制器兼容多場(chǎng)科技 Motion Controller - Archimedes Series