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詳細介紹
壓電·高速單軸掃描運動 – SD15/30.x.C
? 高速掃描運動，電容閉環(huán)傳感，超高運動分辨率
• X 方向運動范圍 15 um, 30 um；
• 外形尺寸, 62 mm x 40 mm x 13.5 mm, 80 mm x 40 mm x 13.5 mm；
• 閉環(huán)定位精度優(yōu)于 0.1 nm；
• 電容位置傳感器；
• 高速運動響應；
• 支持高真空 (.HV) ，超高真空 (.UHV) 選件升級；
微納壓電掃描臺，高速掃描運動，兼容高真空——詳細參數：
微納壓電掃描臺，高速掃描運動，兼容高真空——尺寸圖：
SD15.x.C
SD30.x.C
多場科技“壓電掃描臺·緊湊型”解決方案主要包含：
S —— 掃描標準系列；
SD —— 高動態(tài)系列；
SH —— 高負載系列。
S, SD & SH 系列覆蓋X軸單維度運動、Z軸單維度運動、XY軸雙維度運動和XYZ軸三維度運動等應用場景，支持電容閉環(huán)傳感，可選無磁/高真空/超高真空選件升級。
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